真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱手套的安装与维护
初次安装手套箱请先将手套套在手套口上面，然后分别将内外密封圈安装，安装后检查一下，确定密封圈均在凹槽内。
如果在使用过程中发现手套破损，应及时更换，步骤如下：
1.把要替换的手套推倒箱体内；
2.摘除掉外部的O型圈，再移动里面的O型圈致手套口外部槽上；
3.把手套卷到外面的O型圈边，注意不要让手套从手套口上掉下来；
4.尽可能地压缩新的手套，赶出里面的空气；
5.把新的手套安装到手套口上，套在旧手套上；
6.在新手套外部，手套口里面的槽上安装O型圈；
7.如果可以，把新手套放入隔离开的工作气体环境中清洁（这样能大程度去除空气，减少进入手套箱体内的空气量）；
8.从手套箱里面，用另一个手套把旧手套摘到箱体内；
9.在新手套外面，手套口外部的槽上安装上O型圈；
10.通过过渡舱把旧手套取出，妥善处置。
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手套箱主要特点
1、可自动化功能控制气压，简易手套箱安装，检测，净化，还原
2、触摸屏幕：彩色中英文操作界面，易于进入各功能，实现人机对话
3、循环：闭合环气体循环，无油和真空
4、气压控制：自动控制，工作气压可设定在范围+/-12mbar
5、箱体清洗：自动控制，易于操作，节约气体，对操作溶剂安全
6、脚踏开关：箱内气压可通过脚踏开关调整
7、配置组件
8、密封性能优越，更换方便
9、数据备忘录：自动记录系统数据
10、制系统：采用PLC程序控制系统
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